徐嘉佳
【姓名】 徐嘉佳
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 升华法,IMEE,MEMSCAD,表面工艺,工艺设计,MEMS工艺,冷阱,成化,粘附,硅工艺,设计技术,成品率,梁宽,腐蚀液,防粘附,牺牲层,结构释放,烘干法,环己烷,退火时间,MEMS,掺杂剂,悬臂...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]张海霞,郭辉,张大成,徐嘉佳,郝一龙.集成化MEMS工艺设计技术的研究[J]纳米技术与精密工程.2004,(03)
[2]郝一龙,武国英,吴琳,徐嘉佳.用升华法释放表面硅工艺中的悬浮结构[J]微纳电子技术.2002,(09)
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