杨振川
【姓名】 杨振川
【职称】 副教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 微电子机械系统
【发表文献关键词】 各向异性腐蚀,加速度计,陀螺,微机械惯性传感器,腐蚀速率,微电子机械系统,激活能,模型,硅,梳齿驱动器,惯性传感器,硅各向异性腐蚀,扭转,微镜,敏度,微机械加工,机械惯性,体硅工艺,结点化设计,CAD...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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