王丛舜
【姓名】 王丛舜
【职称】
【研究领域】 机械工业;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 MEMS的设计和应用
【发表文献关键词】 力电耦合,最小可探测位移,阈值电压,梳齿驱动器,扭转,微电子机械系统,微镜,悬臂梁,残余应力,体硅工艺,微继电器,微电子机械,阵列式,静电驱动,噪声,上极板,微机械,灵敏度,扭转微镜,U形,静电力,系...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]王丛舜,熊春阳,杨振川,张大成,方竞.一种新型静电驱动的单轴扭转微镜[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[2]于晓梅,张大成,王丛舜,李婷,阮勇.U形阵列式微机械悬臂梁的研究[J]物理学报.2004,(01)
[3]王丛舜,张为斌,方竞,崔云俊,沈健,昌盛.微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究[J]机械强度.2001,(04)
[4]张恺;崔云俊;熊春阳;王丛舜;方竞;.ELECTRO-MECHANICAL COUPLING ANALYSIS OF MEMS STRUCTURES BY BOUNDARY ELEMENT METHOD[J]Acta Mechanica Sinica.2004,(02)
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