钱祖保
【姓名】 钱祖保
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 V离子注入,束流强度,A型,引出系统,束流,离子源,应用范围,实验研究,引出电压,工作效率,光栏,离子比,重离子,物理研究所,发射度,注硼,离子能量,电功率,电势,浅结,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】
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[1]宋执中,刘经之,于金祥,袁忠喜,钱祖保,沈子林,李认兴.提高J5960A型60kV离子注入机的B~+束流强度[J]微细加工技术.1988,(02)
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