程云富
【姓名】 程云富
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 射频等离子,氧化装置,超导隧道结,射频,氧化层,氧化室,隧道结,溅射,结面积,等离子氧化,镀膜机,氧离子,合金膜,贮气瓶,位垒,直流辉光,能隙,氧原子,临界电流,空度,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】
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[1]孟小凡,吴克,薛立新,程云富.用射频等离子氧化装置制作超导隧道结[J]低温与超导.1983,(04)
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