陈守元
【姓名】 陈守元
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 β－C_3N_4,离子束注入,多晶,稀土硅化物,沟道离子注入,磁控,合金薄膜,合成及分析,异质外延,离子束,磁控溅射,背散射谱,C_3N_4,溅射方法,溅射,随机谱,C膜,离子注入法,沟道谱,沟道,背...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]姚淑德,吴名枋,陈守元,孙胜权,张勇.异质外延GaN及其三元合金薄膜的RBS/channeling研究[J]半导体学报.1999,(01)
[2]姚淑德,吴名枋,陈守元,张勇.用沟道离子注入法研制稀土硅化物[J]核技术.1999,(02)
[3]陈守元,姚淑德.用磁控溅射方法合成C_3N_4[J]材料科学与工程.1998,(02)
[4]姚淑德,陈守元,马军,张亚伟,丰伟静,王雪梅,吴名枋,唐超群.C-N多晶的离子束合成及分析[J]核技术.1998,(06)
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