韩翔
【姓名】 韩翔
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;电力工业;
【研究方向】 铜互联、RFMEMS和NEMS的研究
【发表文献关键词】 MEMS,单晶硅,电镀铜,MEMS光开关,扭转梁,微镜,制动电压,开关时间,品质因数,镀镍,制动效率,电感,大角度,设计,梳齿,梁结构,扭转角度,衬底,开关速度,制动方式,施镀,瞬态分析,电力制动,模...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]吴文刚;李轶;黄风义;韩翔;张少勇;李志宏;郝一龙;.表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感(英文)[J]半导体学报.2006,(04)
[2]杨梅;韩翔;林川力;陈兢;.一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计[J]纳米技术与精密工程.2006,(04)
[3]韩翔,李轶,吴文刚,闫桂珍,郝一龙.用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺[J]半导体学报.2005,(05)
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