冯意炯
【姓名】 冯意炯
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 输运因子,光发射谱,硅烷等离子体,输运特性,OES,空间分布特性,沉积速率,激光诱导荧光,成膜机理,高速沉积,峰位,实验结果,辉光放电,依赖关系,真空科学,扩散输运,亚稳能级,变化规律,电子温度,空间...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]晏继文,张光华,冯意炯,奚中和.氩对硅烷等离子体的稀释效应[J]真空科学与技术.1994,(01)
[2]晏继文,张光华,冯意炯,奚中和.硅烷等离子体光发射谱的空间特性及其对沉积速率的影响[J]真空科学与技术.1993,(05)
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