陈庆华
【姓名】 陈庆华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 光学MEMS的研究
【发表文献关键词】 微镜,复合静电驱动结构,平板驱动器,垂直梳齿驱动器,硅混合微加工,MEMS,扭转微镜,硅微加工,SOI,复合驱动,表面粗糙度,硅微机械,驱动结构,拐点电压,光开关,纳米加工技术,机电耦合特性,工艺制作...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京海淀
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[1]栗大超;吴文刚;袁勇;陈庆华;郝一龙;胡小唐;.基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)[J]传感技术学报.2006,(05)
[2]吴文刚,陈庆华,尹冬青,闫桂珍,陈章渊,郝一龙,徐安士.复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)[J]半导体学报.2005,(09)
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