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李修函
【姓名】
李修函
【职称】
【研究领域】
仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】
硅,金,共晶键合,压阻式加速度计,晶键,压阻,加速度计,子学,微电,硅基体,北京大学,研究所,扩入,键合强度,silicone,压阻式,共晶反应,共晶温度,合同号,原子扩散,
【工作单位】
北京大学
【曾工作单位】
北京大学;
【所在地域】
北京
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中国期刊全文数据库
共找到2篇
[1]黄杰西;李修函;于晓梅;.
面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计
[J]功能材料与器件学报.2008,(01)
[2]王翔,张大成,李婷,王玮,阮勇,李修函,王小保,杜先锋.
压阻加速度计的Au-Si共晶键合
[J]半导体学报.2003,(03)
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1
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