王国雄
【姓名】 王国雄
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离轴照明,光刻,深亚微米IC工艺,光学邻近校正,成像算法,环形照明,四极,离轴,照明,光源,景深,照明装置,小特征尺寸,光刻系统,光强,大景深,特征尺寸,仿真程序,空间图像,衍射光束,
【工作单位】 鞍山科技大学
【曾工作单位】 鞍山科技大学;
【所在地域】 浙江鞍山
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[1]付萍,王国雄,史峥,陈志锦,严晓浪.一种基于SPLAT的离轴照明成像算法的研究与实现[J]微电子学.2003,(03)
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