陈志刚
【姓名】 陈志刚
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅电容,膜片,压力传感器,高灵敏度,电容式压力传感器,力敏,挠度,圆膜,硅膜片,灵敏度,传感器技术,硅杯,输出特性,线性度,极间距离,掩膜,电极形状,面保护,铝电极,电极间距,
【工作单位】 鞍山钢铁学院
【曾工作单位】 鞍山钢铁学院;
【所在地域】 鞍山
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[1]陈志刚.高灵敏度硅电容式压力传感器的研制[J]传感器技术.1989,(06)
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