葛柏青
【姓名】 葛柏青
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 LCVD,性能,薄膜,激光化学沉积,化学气相沉积,激光诱导,工艺参数,气相沉积,激光化学,制膜,沉积温度,激光功率,反应气体,激光,纳米Si,反应室,气相,β-Fe,介质膜,激光CVD,
【工作单位】 安徽工业大学
【曾工作单位】 安徽工业大学;
【所在地域】 安徽马鞍山
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[1]葛柏青,王豫.激光诱导化学气相沉积制膜技术[J]安徽工业大学学报(自然科学版).2004,(01)
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