徐均琪
【姓名】 徐均琪
【职称】 教授;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】 薄膜技术方面的研究
【发表文献关键词】 非平衡磁控溅射(UBMS),磁控溅射(MS),靶-基距,类金刚石薄膜,离子束流密度,磁控,溅射,光学常数,膜厚均匀性,磁控溅射,厚度均匀性,溅射速率,流密度,离子束,工艺参数,基距,薄膜光学常数,负偏...
【工作单位】 西安工业大学
【曾工作单位】 西安工业大学;西安工业学院;
【所在地域】 陕西西安
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