刘玉岭
【姓名】 刘玉岭
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;金属学及金属工艺;一般化学工业;
【研究方向】 半导体器件工艺技术与电子材料理论应用开发研究工作
【发表文献关键词】 硅片,研磨液,应力,化学机械抛光,硼酸锂铯,潮解,有机溶剂,表面活性剂,表面状态,抛光液,嵌入式工艺,低k介质,铜电镀,机械作用,铜表面,去除机理,表面张力,晶体开裂,抛光技术,表面质量,分散剂,平坦...
【工作单位】 河北工业大学
【曾工作单位】 河北工业大学;中国人民政治协商会议全国委员会;河北工学院;
【所在地域】 天津
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