江建明
【姓名】 江建明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 集成MEMS技术研究
【发表文献关键词】 单片集成,MEMS技术,CMOS兼容,微机电系统,MEMS,CMOS技术,CMOS工艺,技术特点,技术实现,工艺流程,未来发展,难点,CMOS,CMOS电路,结构层,多晶硅,铝金属化,微结构,XeF2...
【工作单位】 西安电子科技大学
【曾工作单位】 西安电子科技大学;
【所在地域】 陕西西安
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[1]江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂.单片集成MEMS技术[J]传感器技术.2005,(03)
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