凌坚
【姓名】 凌坚
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】 MEMS器件设计
【发表文献关键词】 微镜,MEMS,静电,电极板,弹性耦合,弹性变形,静电力,静电驱动,弹性系统,弹性力,空气隙,品质因数,稳态解,动态数学模型,一维扩散方程,静电场能量,驱动器,临界值,临界,自由度,
【工作单位】 北京邮电大学
【曾工作单位】 北京邮电大学;
【所在地域】 北京
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[1]凌坚,万江文.一维MEMS微镜静电弹性耦合[J]微纳电子技术.2004,(10)
[2]冯仁剑;万江文;凌坚;.三层平板静电驱动MEMS微镜[J]微纳电子技术.2005,(12)
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