李军
【姓名】 李军
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微机械陀螺仪,真空度检测,品质因数,MEMS封装,真空封口,真空度,吸气剂,器件性能,封装外壳,检测技术,热电势,规管,陀螺,腔体,MEMS器件,非蒸散型吸气,真空封装,校准曲线,MEMS,封口工艺,
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 河北石家庄
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[1]张丽华,李军,邵崇俭.MEMS封装中真空封口及真空度检测技术[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
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