刘斌
【姓名】 刘斌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅,TEM,氢,注氢,微缺陷,损伤带,离子注入,TEM观察,损伤层,微结构,金属研究,硅原子,原子面,半导,国家工程研究中心,体材料,衬度,透射电子显微镜,{111}面,晶格周期性,
【工作单位】 北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心;
【所在地域】 北京
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[1]肖清华,王敬,屠海令,周旗钢,刘斌.注氢硅中微结构缺陷的TEM观察[J]稀有金属.2003,(03)
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