王百金
【姓名】 王百金
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静电击穿,TFT,异常放电,灰化,辉光放电,射频电源,SiOx,背沟,击穿电压,电力,短路环,正常放电,反应室,薄膜晶体管,低压大电流,子体,弧光放电,匹配调整,射频放电,耦合器,
【工作单位】 东北师范大学
【曾工作单位】 东北师范大学;
【所在地域】 长春
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[1]王丽娟,王百金.TFT制作中静电击穿的研究[J]长春理工大学学报.2004,(01)
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