李晨菲
【姓名】 李晨菲
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微细加工设备的研究
【发表文献关键词】 扫描电子束曝光机,背散射检测器,模拟电路,噪声,背散射电子,检测电路,对准标记,信号处理电路,形貌,PCB板,探测器,工作原理,实验装置,多级滤波,模拟信号处理,对准原理,原理图,检测技术,制作技术,...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]李晨菲,薛虹.电子束曝光机背散射电子检测电路的研究[J]微细加工技术.2005,(02)
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