邢溯
【姓名】 邢溯
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ZrO2薄膜,薄膜物理学,衬底温度,电学性能,脉冲激光沉积法,结晶结构,脉冲激光,漏电流,准分子,薄膜结构,ZrO_2,沉积法,栅介质,Pt/Ti,表面粗糙度,纵向电阻,主要取向,扩展电阻法,信息技术...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]章宁琳,宋志棠,邢溯,万青,林成鲁.准分子脉冲激光沉积法制备的ZrO_2薄膜结构和电学性能的研究[J]中国激光.2003,(04)
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