李刚
【姓名】 李刚
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离心喷射,RCA工艺,清洗技术,兆声清洗,抛光硅片,颗粒,金属沾污,清洗法,抛光片,RCA清洗,表面颗粒,清洗工艺,除硅,硅表面,SIMS,宁波,涡流层,TXRF,微粗糙度,改进工艺,氧化层,形变,不...
【工作单位】 宁波海纳半导体有限公司
【曾工作单位】 宁波海纳半导体有限公司;
【所在地域】 浙江宁波
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[1]何良恩,凤坤,唐雪林,李刚.对抛光片清洗技术的研究[J]半导体技术.2004,(07)
[2]凤坤,史迅达,李刚,许峰,刘培东.兆声清洗法和离心喷射清洗法的比较[J]半导体学报.2005,(02)
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