杨尊先
【姓名】 杨尊先
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】 微纳电子机械系统技术的研究
【发表文献关键词】 硅,纳机电系统,纳米探针,电热纳米针尖,纳机电系统技术,悬臂梁-针尖探针,压阻敏感,压阻式传感器,加热电阻,悬臂梁,数据存储技术,压阻,加热电阻器,探针阵列,集成化,探针,机电,集成技术,纳米,PN结...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]杨尊先,程保罗,李昕欣.纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究[J]传感器技术.2004,(01)
[2]杨尊先,李昕欣,王跃林,鲍海飞,刘民,陆德仁.硅基纳机电探针及其敏感和执行特性[J]半导体学报.2004,(07)
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