刘尚合
【姓名】 刘尚合
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 椭圆偏光法,激光退火,砷离子,热退火特性,退火效应,砷注入,椭圆偏光,注入硅,背散射测量,离子注,热退火,辐射损伤,损伤层,角法,背散射分析,背散射,非晶质,载流子浓度,电学测量,非晶层,退火实验,入...
【工作单位】 北京师范大学
【曾工作单位】 北京师范大学;
【所在地域】
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[1]莫党,卢因诚,李旦晖,刘尚合,卢武星.用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应[J]物理学报.1980,(09)
[2]刘尚合,卢武星,姬成周,张通和.砷注入硅的激光退火和热退火特性[J]物理.1980,(06)
[3]莫党,卢因诚,李旦晖,刘尚合,卢武星.椭圆偏光法研究砷离子注入硅的损伤和退火[J]半导体学报.1980,(03)
[4]刘尚合;卢武星;.硅中砷离子注入的研究[J]北京师范大学学报(自然科学版).1979,(04)
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