李忻
【姓名】 李忻
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】 微机械、微差压传感器研究
【发表文献关键词】 电容式微差压传感器,硅薄膜,形变,内应力,复合薄膜,腐蚀自停止,低量程,压力传感器,重掺杂,电容式,超薄薄膜,上海微系统与信息技术研究所,KOH溶液,微麦克风,自停止腐蚀,制作流程,挠度,浓硼,形貌,...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]李忻,车录锋,王跃林.一种超薄硅薄膜的制作方法[J]功能材料与器件学报.2002,(04)
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