张飞
【姓名】 张飞
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 仿真鸦ArF光刻机,光刻,浸没式,离轴照明,杂散光,偏振方向,浸没光刻,光刻性能,工艺窗口,Prolith9.0,光学系统,大数值孔径,光学参数,四极照明,环形照明,光刻机,图像对比度,均匀性,线条,...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京中国
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[1]张飞;李艳秋;.浸没式ArF光刻中杂散光影响的研究[J]微细加工技术.2006,(02)
[2]李艳秋,黄国胜,徐彧,张飞.光学参数配置对ArF光刻性能影响研究[J]电子工业专用设备.2004,(02)
[3]黄国胜,李艳秋,张飞.离轴照明对ArF浸没式光刻的影响[J]微细加工技术.2005,(01)
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[1]张飞;李艳秋;.四极照明光刻成像质量仿真研究[A].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004-06-30
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