严金龙
【姓名】 严金龙
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 埋层,硅集成电感,集成电感,pn结隔离,β-SiC,C~+注入,品质因素,螺线电感,Q值,注入剂量,螺旋电感,射频集成电感,涡流,pn结,俄歇,氮气氛,隔离型,退火工艺,XTEM,晶粒,吸收峰,红外,...
【工作单位】 中国科学院上海冶金研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海冶金研究所;
【所在地域】 上海
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[1]刘畅,陈学良,严金龙.新颖的衬底pn结隔离型硅射频集成电感(英文)[J]半导体学报.2001,(12)
[2]刘畅,陈学良,严金龙.一种提高硅集成电感Q值的方法[J]功能材料与器件学报.2002,(01)
[3]刘畅,陈学良,严金龙,顾伟东.新颖的常规硅工艺实现的侧向螺线型片上集成电感(英文)[J]半导体学报.2002,(04)
[4]陈长清,杨立新,严金龙,陈学良.C~+注入硅形成β-SiC埋层研究[J]半导体学报.1997,(02)
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