吴雁军
【姓名】 吴雁军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 AlN薄膜,吸杂,绝缘层上硅,纳米孔,智能剥离,Cu杂质,SOI,顶层硅,直接键合,SIMOX,离子注入,SOI材料,埋层,孔对,纳米,上海微系统与信息技术研究所,吸除,空腔,氦离子注入,硅衬底,Sm...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]门传玲,徐政,安正华,吴雁军,林成鲁.AlN薄膜室温直接键合技术[J]半导体学报.2003,(02)
[2]张苗,吴雁军,刘卫丽,安正华,林成鲁,朱剑豪.SOI材料中Cu杂质的纳米孔吸杂研究[J]中国科学E辑:技术科学.2003,(01)
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