高晓童
【姓名】 高晓童
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 闭环谐振,谐振梁,硅梁,半岛结构,热激励,压力传感器,牺牲层,硅谐振梁,数据采集系统,多孔硅,有限元模拟分析,微电子机械系统,集系,环数,硅谐振,压力灵敏度,感器,压力传感,子学,方槽,谐振频率,传感...
【工作单位】 中国科学院电子学研究所
【曾工作单位】 中国科学院电子学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]范兆岩,崔大付,陈德勇,高晓童.热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统[J]半导体学报.2003,(08)
[2]陈德勇,崔大付,高晓童,范兆岩,王利.一种半岛型结构谐振梁压力传感器[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[3]高晓童,崔大付,陈德勇,王利,王蕾.热激励硅谐振式压力传感器的研制[J]仪表技术与传感器.2004,(04)
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