史强
【姓名】 史强
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 电子束曝光对准系统研究
【发表文献关键词】 电子束缩小投影曝光机,标记对准模拟软件,对准系统,数字处理技术,对准技术,片标,模拟软件,标记图,电子束缩小投影曝光,背散射,处理技术,有向环,检测信号,步距,数字,矢量,次级峰值,电子信号,检测误差...
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计[J]微电子学与计算机.2002,(05)
[2]史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术[J]微细加工技术.2002,(01)
[3]史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用[J]微细加工技术.2002,(03)
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