陈雪萌
【姓名】 陈雪萌
【职称】
【研究领域】 自动化技术;仪器仪表工业;
【研究方向】 MEMS领域
【发表文献关键词】 深反应离子刻蚀,压阻,陀螺,微机械陀螺,压阻式,接口电路,数学推导,微机械,加速度计,微梁,四端器件,硅微机械陀螺,驱动模态,质量块,高灵敏度,新结构,设计与制造,悬臂梁,DRIE,压阻系数,敏度,静...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]陈雪萌,宋朝晖,李欣昕,王跃林,张鲲,焦继伟,杨恒.一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造[J]传感器技术.2004,(12)
[2]陈雪萌,李昕欣,王跃林,焦继伟,杨恒,刘民.压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理[J]传感器技术.2005,(08)
[3]陈雪萌,李昕欣,宋朝晖,王跃林,黄晖,黄树森,张鲲.一种新结构硅微机械压阻加速度计[J]传感技术学报.2005,(03)
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