许薇
【姓名】 许薇
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 MEMS气密封装研究
【发表文献关键词】 真空封装,MEMS,MEMS器件,高量程,微机电系统,圆片级封装,加速度计,胶粘工艺,玻璃浆料,圆片级键合,低温气密封装,腔体,干燥箱,抽速,灌封胶,漏率,密封腔,模型模拟,芯片,真空,黑胶,真空度,...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]程迎军,朱锐,许薇,罗乐.MEMS器件真空封装模型模拟[J]传感器技术.2004,(12)
[2]许薇,王玉传,罗乐.玻璃浆料低温气密封装MEMS器件研究[J]功能材料与器件学报.2005,(03)
[3]蒋玉齐,程迎军,许薇,张鲲,李昕欣,罗乐.高量程MEMS加速度计封装工艺研究[J]传感器技术.2005,(02)
[4]程迎军,蒋玉齐,许薇,罗乐.焊料键合实现MEMS真空封装的模拟[J]半导体学报.2005,(05)
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