张清涛
【姓名】 张清涛
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;材料科学;
【研究方向】 PMNT粉体、薄
【发表文献关键词】 光刻胶,剥离工艺,电极,制作工艺,工艺制备,微细图形,光学曝光,均匀性,制备方法,曝光设备,微米级,制备过程,显影液,显影过程,工艺条件,显影速度,线条宽度,深紫外曝光,掩膜版,金属层,
【工作单位】 中国科学院电工研究所
【曾工作单位】 中国科学院电工研究所;
【所在地域】 北京
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[1]张清涛,李艳秋.MEMS器件中电极制作工艺的研究[J]微细加工技术.2005,(03)
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[1]尚永红;李艳秋;张清涛;刘少波;.多级MEMS铁电制冷器有限元分析[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[2]张清涛;李艳秋;尚永红;刘少波;.0.9Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.1PbTiO_3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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