王钻开
【姓名】 王钻开
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 微电子机械系统
【发表文献关键词】 静态测试,微电子机械系统,微桥,加速度传感器,冲击加速度,阻尼,固有频率,高量程,力学性能分析,微加速度计,悬桥,感器,频率,加速度计,灵敏度,氮化硅,微机械,LPCVD,校准,Hopkinson杆,...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]郇勇,张泰华,杨业敏,王钻开,陆德仁.压阻式高量程微加速度计的冲击校准[J]传感器技术.2003,(11)
[2]宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和.微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析[J]机械强度.2003,(04)
[3]宗登刚,王钻开,陆德仁,王聪和,陈刚.微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能[J]功能材料与器件学报.2003,(02)
[4]王钻开,陆德仁.传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响[J]功能材料与器件学报.2003,(02)
[5]王钻开,宗登刚,陆德仁.高量程加速度计的力学性能分析[J]机械强度.2002,(04)
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