王建华
【姓名】 王建华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 界面宽度,重掺硅,蓝宝石,氧沉淀,尖晶石,间隙氧,硅,界面层,红外,俄歇分析,退火,辐照缺陷,外延硅,俄歇,外延生长,CMOS,重掺锑,SOI,自由载流子吸收,双异质外延,外延,生长速率,热退火,底表...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到8篇
[1]谭利文,王俊,王启元,郁元桓,邓惠芳,王建华,林兰英.双异质外延SOI材料Si/γ-Al_2O_3/Si的外延生长[J]半导体学报.2003,(12)
[2]昝育德,王俊,李瑞云,韩秀峰,王建华,于芳,刘忠立,王玉田,王占国,林兰英.双异质外延Si/Al_2O_3/Si薄膜制作的CMOS器件[J]半导体学报.2004,(07)
[3]王启元,林兰英,何自强,龚义元,蔡田海,郁元桓,何龙珠,高秀峰,王建华,邓惠芳.CMOS集成电路用Φ150—200mm外延硅材料[J]半导体学报.2001,(12)
[4]王启元,林兰英,王建华,邓惠芳,谭利文,王俊,蔡田海,郁元桓.单晶硅中氢与辐照缺陷的相互作用[J]半导体学报.2002,(01)
[5]谭利文,王俊,王启元,郁元桓,刘忠立,邓惠芳,王建华,林兰英.热退火γ-Al_2O_3/Si异质结构薄膜质量改进[J]半导体学报.2002,(11)
[6]王启元,王俊,韩秀峰,邓惠芳,王建华,昝育德,蔡田海,郁元桓,林兰英.Ramping热退火直拉重掺锑硅衬底片的增强氧沉淀[J]半导体学报.1999,(06)
[7]王启元,王俊,韩秀峰,邓惠芳,王建华,昝育德,蔡田海,郁元桓,林兰英.借助硅片减薄重掺硅间隙氧含量低温(10K)红外测量[J]半导体学报.1997,(08)
[8]佘觉觉,曹大年,王维明,昝育德,邓惠芳,王建华,郁元桓.蓝宝石-硅和尖晶石-硅界面层宽度的俄歇分析[J]半导体学报.1984,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]王启元;林兰英;王建华;邓惠芳;蔡田海;郁元桓;.单晶硅中与氢有关的红外吸收光谱分析[A].2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集.2000-06-30
[2]王启元;林兰英;王建华;邓惠芳;蔡田海;郁元桓;.NTD氢区熔单晶硅退火行为研究[A].2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集.2000-06-30
[3]王启元;王俊;王建华;.纳米电子器件用新型Al_2O_3高K介电薄膜材料制备[A].科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集.2004-06-30
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