邵建达
【姓名】 邵建达
【职称】 研究员;教授;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】 激光薄膜方面的研究
【发表文献关键词】 渐变折射率,分层介质理论,分层评价,HfO2薄膜,残余应力,膜厚,电子束蒸发沉积,薄膜厚度,Mo/Si多层膜,软X射线,界面粗糙度,反射率,激光损伤阈值,分层数,离子束辅助沉积,氧化铪,微弱吸收,折射...
【工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海光学精密机械研究所;
【所在地域】 上海
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